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文章: 1,199
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引用:
這就是知識來源 http://www.eettaiwan.com/
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1.真象可能不只有一個 2.時間能證明一切 最近才知道..."社會文盲"有很多,一邊哀鳴著別個油多便宜 但他們跟本不知道是奴役著3億人外的其他人類所得的血汗油價! http://tw.stock.yahoo.com/news_content/url/d/a/110510/2/2kwvo.html 上阿! 刪掉補助款! 為了世界的未來+和平！！ 請大家多多抗韓！！！！！！ |
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2009-10-29, 01:23 AM
#11
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加入日期: Nov 2005
文章: 604
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引用:
泛IBM聯盟啥時說不用EUV? 浸潤式微影已經快走到極限(雙重曝光只能改善一點繞射現象) 想要往下微縮 EUV是目前唯一有大量生產能力的次世代微影技術 |
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2009-10-29, 02:45 AM
#12
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Senior Member
加入日期: Oct 2001 您的住址: 彰化縣xx鄉
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引用:
那是你對EUV神化了 東西能量產 價格合理才有用 http://www.eettaiwan.com/ART_880057...NT_0b2f253d.HTM 設備產業有太多理由需要合作，其中一個就是微影技術的發展。目前193奈米浸潤式微影，被視為可支援32/28奈米製程節點；但到了22奈米節點，微影技術選項除了193奈米浸潤式技術，還有雙圖案(double-patterning)、無光罩(maskless)與奈米壓印(nanoimprint)。
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1.真象可能不只有一個 2.時間能證明一切 最近才知道..."社會文盲"有很多,一邊哀鳴著別個油多便宜 但他們跟本不知道是奴役著3億人外的其他人類所得的血汗油價! http://tw.stock.yahoo.com/news_content/url/d/a/110510/2/2kwvo.html 上阿! 刪掉補助款! 為了世界的未來+和平！！ 請大家多多抗韓！！！！！！ |
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2009-10-29, 08:32 AM
#13
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加入日期: Nov 2005
文章: 604
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引用:
雙重曝光(double-patterning)微影增強技術 不是微影技術 無光罩是指用e-beam 是可以用 但是太慢 奈米壓印 大面積下良率根本是看天吃飯 EUV除了機器和光罩貴以外 在生產上和現行系統並無太大差異 |
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2009-10-29, 09:23 AM
#14
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Senior Member
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文章: 1,199
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引用:
雙重曝光(double-patterning)微影增強技術是微影技術的延生 他也是微影技術 他能達到22nm EUV不是不好 是跟本不願資金去燒這種高成本回收期長,且不穩定之高風險投資 能用到便宜量產的東西 誰會再去用貴的 http://www.eettaiwan.com/ART_880055...NT_205ca230.HTM IBM那篇採用193奈米浸潤式微影技術開發SOI的文章我也忘了在哪 有興趣自己去找http://www.eettaiwan.com/ 還有intel tsmc 三星是共同向18"進發 不是32nm http://www.eettaiwan.com/ART_880058...NT_4e23b551.HTM 產業的東西 去找專輯型的網站才能得到 比起普通或者是從事該行業而不吸取新知者
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2009-10-29, 10:11 AM
#15
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文章: 604
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引用:
雙重曝光(double-patterning)是從pattern設計上下功夫 透過電腦補償繞射問題 可以增加曝光品質 但對於最小尺寸是沒有幫助 物理上多小就是多小了 ps.建議真的有興趣去找本教科書來看吧 |
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2009-10-29, 01:28 PM
#16
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引用:
以上你是對的 謝謝你 受教了 雙重曝光(double-patterning)微影增強技術是微影技術的延生 他也是微影技術內容之一 他能達到28nm 以上改這樣才對 這是9月大家搶設備(大廠積極採購 浸潤式微影工具交貨等待期延長 http://www.eettaiwan.com/ART_880058...NT_c5bf5681.HTM 這是第一台12吋無光罩多重電子束微影設備給台積電研究製程 http://tech.chinatimes.com/2007Cti/...0300343,00.html 勝負還不知道 雖說Nikon將開發一款「量產型」設備EUV3並計劃在2012年發表 還有至少2年 這兩年誰先賺 還不知道
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1.真象可能不只有一個 2.時間能證明一切 最近才知道..."社會文盲"有很多,一邊哀鳴著別個油多便宜 但他們跟本不知道是奴役著3億人外的其他人類所得的血汗油價! http://tw.stock.yahoo.com/news_content/url/d/a/110510/2/2kwvo.html 上阿! 刪掉補助款! 為了世界的未來+和平！！ 請大家多多抗韓！！！！！！ |
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2009-10-29, 03:38 PM
#17
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