作者DigiTimes

全球半導體產業2012年點燃450mm(18吋)世代交替戰火，由晶圓廠紛紛表態投下鉅資開發技術後，原本躊躇不前的設備廠也陸續宣布投入開發，只是這條18吋晶圓世代之路對設備廠而言，是不作不行、作了也不一定回本和獲利的兩難之路。

對於18吋晶圓世代，半導體設備廠有點硬著頭皮投資的意味，除了技術門檻仍需要克服之外，投資成本太高也是問題之一，現在投入鉅資開發18吋晶圓相關機台設備，但未來客戶只剩下3家，也就是台積電、英特爾(Intel)、三星電子(Samsung Electronics)，未來是否能獲得獲利回報？是各廠最大的疑慮。

雖然台積電、英特爾、三星電子合計花了新台幣2,000億元投資微影設備大廠ASML，確保微影設備能順利研發，以利18吋晶圓世代順利前進，但未來18吋晶圓世代中，ASML會是唯一極紫外線(EUV)機台供應商，因此只要能研發成功，3家客戶一定都會買單。

但對於其他設備廠，也就是non-ASML陣營設備廠而言，現在投下鉅資作研發，客戶是否一定會採用，都是未知數，因為18吋世代只有微影機台是非ASML不可，具有獨特的不可替代性。但18吋晶圓世代的其他機台設備都有2~3家供應商可選擇，到時全球18吋客戶就剩3家，若3家半導體客戶都採用，設備商可以回本，若只有2家客戶採用，鉅額投資可能打平，但如果只被1家客戶青睞，恐陷入虧損，若連1家客戶都爭取不到，那公司就等著關門。

晶圓廠也知道設備廠的難處，因此過去談到投資開發18吋晶圓機台設備，設備廠都推給ASML，表示微影技術還沒準備好，因此很難確定要開發18吋晶圓。為了在微影設備技術上打破障礙，3大半導體廠才會投資新台幣2,000億元給ASML開發18吋晶圓設備和EUV機台，ASML又火速投資750億元購併光源供應商Cymer，解決最關鍵的光源問題，這一連綁樁動作都是為全球18吋世代的供應鏈布局和解套。

全球5家半導體大廠台積電、英特爾(Intel)、三星電子(Samsung Electronics)、IBM和GlobalFoundries已在紐約州CNSE成立G450C聯盟，目標是從14奈米製程切入作技術展示，在2015~2016年切入10奈米製程作試產動作。從G450C聯盟揭示的全球450mm藍圖來看，預計要到2014年多數設備廠才能完成試驗機台的開發，趕上2015~2016年間可以達到量產的標準。

對於18吋晶圓廠的量產，台積電表示，預計2018年達量產目標，而18吋最大挑戰是在2015年前成功開發10奈米製程的微影技術。18吋晶圓設備大廠除了微影設備的ASML外，還包括應用材料(Applied Materials)、KLA-Tencor、TEL、Lam Research等。

半導體設備廠這次轉進18吋晶圓世代態度和動作都保守，除了是未來客戶數有限外，也是因為過去轉進12吋晶圓世代時，設備廠都是一頭熱投資。然當時12吋晶圓的試驗機台在1995年就完成開發，因網路泡沫等全球經濟因素因素，一直到2004年12吋晶圓出貨量才超過8吋晶圓，等於是半導體產業花了9年時間，才完成8吋和12吋的世代交替，因此對於投資金額倍增的18吋晶圓世代，更是小心翼翼，且必須計算開發風險和長期投資回報率。對於是否要邁入18吋晶圓世代技術開發，設備廠幾乎是被打鴨子上架，在半導體產業中，不投入新製程和新世代，就等著被淘汰，但投入也不一定保證會回本或獲利，的確是各家設備廠的兩難，在這樣的產業氛圍之下，設備廠只能且看且走。