最近我要交一份報告是有關翻譯ic製程的書,可是再翻譯過程中有2個專有名詞我一直查不到,問同學也不知道,實在很頭大.....
這2個名詞是:glow discharge
process chamber
這2個英文是在電漿部分所出現的,麻煩有從事這方面的人或知道意思的人趕快告訴我,明天就要交報告了,拜託.