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中國實現國產DUV曝光機 可生產8奈米及以下晶片
2024-09-14
https://www.cna.com.tw/news/ait/202409140249.aspx

我看對岸的人說
這台是普通乾式ArF
非浸潤式ArFi
好像已經調適、驗證3年
大多會用在65~28nm的產品上
不是什麼生產8nm用的
媒體不懂才說8nm