你的資訊跟我查到的不同

https://www.wealth.com.tw/articles/...fb-99c31d4cdb76

以三星為例，當年三星也是同樣在DUV世代時，就搶先台積電拿到EUV機台，希望能透過EUV機台，早一步進入7nm製程。

三星在EUV機台搶得先機，但後續乏力

也因此，事與願違，三星7nm從沒有真正拿到晶圓代工服務產線上使用，反而台積電利用既有DUV機台結合多重曝光技術，硬是搶先三星打造出可商用的7nm製程並拿到蘋果與超微大單，三星的7nm只有在自家Exynos晶片上驚鴻一瞥，並沒有真正市場化。

https://www.eettaiwan.com/20181018n...-7nm-euv-chips/

市場研究機構International Business Strategies (IBS)執行長Handel Jones說：「三星大約提前了六個月採用EUV製程，因為他們一直在DRAM和邏輯製程中使用這一系統，但台積電在使用IP和工具方面處於領先地位，而且也有更多的客戶合作關係，如超微(AMD)、蘋果(Apple)、海思(HiSilicon)和輝達(Nvidia)等。」

https://iknow.stpi.narl.org.tw/Post...px?PostID=14344

自去年(2017)以來，三星電子在華城S3生產線引進EUV設備，為7奈米晶圓代工生產做好準備。

雖然，生產7奈米晶片不一定需要EUV，三星的主要競爭對手台積電(TSMC)及格羅方德(GlobalFoundries)改用浸潤式光刻（immersion lithography）技術處理7奈米製程。由於EUV可以在更小的尺寸上進行優異的蝕刻，因此提早投資於EUV技術被視為三星的明智之舉。

維基百科關於7nm的時間進程也很清楚
https://en.wikipedia.org/wiki/7_nm_process

三星才是提早使用EVU的廠商，7nm EVU也早於台積電
台積電是7nm DUV早於三星，並靠穩定的產能先搶下市場
三星吹噓的7nm EVU量產能力不知真假，也鮮少廠商敢用
整個7nm世代幾乎被台積電通吃，也讓過幾年後的7nm EVU順利銜接

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最後，誰先買High-NA EUV根本無足輕重
從這出發點去假想推測都是錯誤的延伸