不是我要說

光刻廠是夢想, 但是實際上牽涉到廠務問題... soft X Ray不是那麼好處理
我認為五年內看到實際商轉的機率幾乎是0, 忽悠其他人用的

但是對岸有別的EUV項目進展速度超乎各位想像....

還是那句, 關鍵不在EUV, 而是stage.....