作者Hermit Crab

關於中國自主研發光刻機，
這兩天又冒出幾個關鍵字：

一個是很討厭臺積電的項立剛在吹捧X光光刻機，
是的你沒有看錯，就是醫院跟安檢用的那種X光，
他宣稱下一代光刻機不是EUV，而一定是X光，
而且還一定會是中國率先做出來，遙遙領先！

另外一個關鍵字是清華大學SSMB-EUV光源，
號稱比ASML用的強50倍可以同時帶動多臺光刻機。