除非是有相關底子的人士
有多少人看懂其間的差別 ?

　　https://www.eettaiwan.com/20200115nt61-7nm-comparision/
　　平平都是7nm　性能、製程大不同！
　　(2020-01-15)


　　https://www.chinatimes.com/realtimenews/20200706003770-260410
　　等不到EUV設備！中芯冷回1句
　　(2020/07/06)

　　　　中芯國際董事長周子學在路演互動交流時回應EUV光刻機採購和超募資金使用情況
　　　　他強調，目前量產和主要在研項目暫不需用到EUV光刻機



　　https://www.hk01.com/即時中國/495417/中科院5納米激光光刻加工技術獲進展-官網發布消息後又刪文
　　中科院（中國科學院）5納米激光光刻加工技術獲進展　官網發布消息後又刪文
　　(2020-07-08)

　　　　基於光熱反應機理設計開發一種新型三層堆疊薄膜結構
　　　　採用雙激光束（波長為405納米）交疊技術，通過精確控制能量密度及步長，
　　　　實現1/55衍射極限的突破（NA=0.9），達到最小5納米的特徵線寬

　　　　常規聚焦離子束刻寫，製備一個納米狹縫電極需要10到20分鐘，
　　　　本文的激光直寫技術，可以一小時製備約5乘10的5次方個納米狹縫電極，展示可用於大規模生產的潛力

　　　　中國科學院官網稍後刪除了該報導，尚不知具體原因



　　http://www.mittrchina.com/news/5320
　　国产光刻机崛起！中科院（中国科学院）开发新型5nm超高精度激光光刻加工方法
　　(2020-07-09)

　　　　中国微米纳米技术学会报道，
　　　　中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所张子旸研究员，与国家纳米科学中心刘前研究员合作，
　　　　在《纳米快报》（Nano Letters）上发表了题为《超分辨率激光光刻技术制备 5nm 间隙电极和阵列》（5 nm Nanogap Electrodes and Arrays by a Super-resolution Laser Lithography）的研究论文，
　　　　论文讲述了该团队开发的新型 5 nm 超高精度激光光刻加工方法

　　　　论文第一作者为中科院苏州纳米所与中国科学技术大学联合培养硕士研究生秦亮
　　　　中科院苏州纳米所与兰州大学联合培养的博士研究生黄源清、和青岛大学物理学院夏峰为论文共同第一作者
　　　　张子旸研究员和刘前研究员，为论文的通讯作者

　　　　本工作已经获得国家重点研究计划项目、国家自然科学基金、Eu-FP7 项目和中国博士后科学基金的支持