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三星的 1z nm 屬於第三代 10nm 級製程,10nm 級製程並不是 10nm,由於 20nm 節點之後 DRAM 的製程升級變得困難,所以 DRAM 記憶體製程的線寬指標不再那麼精確,於是有了 1x nm、 1y nm及 1z nm 之分,簡單來說 1x nm 製程相當於 16-19nm,1y nm 相當於 14-16nm,1z nm 大概是 12-14nm 級別,而在這之後還有 1α 及 1β 製程。