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RAMSA
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加入日期: Dec 2001
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文章: 689
引用:
作者Zephyr
particle 也不一定是直接掉落在 wafer 上 ,也有可能掉進 chamber 裡面

安啦,Load和Unload都會N2 Purge啦,Particle high絕大部份都是Robot沒保養上油產生的,不然就是機台太久沒PM,再說小姐也不能進Chamber啦,反而是工程師自己清到Particle high便金屬污染,因為流汗滴到變成鈉

屎噴出來的聽說是ASML的工程師,我只是聽說喔ASML的工程師別來找我喔

還有就是華亞和南亞OP真是他媽的暴醜
舊 2011-01-12, 09:49 PM #57
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