瀏覽單個文章
Zephyr
Master Member
 

加入日期: Feb 2001
您的住址: 碎石堆緩衝區
文章: 1,807
引用:
作者RAMSA
那些不是裝在FOUP裡面嗎?哪會污染到?


particle 也不一定是直接掉落在 wafer 上 ,也有可能掉進 chamber 裡面
__________________
「優雅ズ舞よ」∼ロ③ДワКиャみ∼
舊 2011-01-12, 08:36 AM #47
回應時引用此文章
Zephyr離線中