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GlobalFoundries 22/20nm工藝啟用極紫外光刻 AMD等不及
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orakim
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加入日期: Sep 2003
文章: 1,810
引用:
作者
BBCT
直接打穿Mask然後全部打到Wafer上!
而且γ是不可見光,還得開發專用的設備去對焦!
汞燈紫外光光源 半導體廠已經用了很久(10年以上),可不可見倒不是很重要
reticle 擋不擋的下來,到wafer上 光阻圖形對比如何 才是關鍵
2010-07-16, 01:06 PM #
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orakim
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