主題: GlobalFoundries 22/20nm工藝啟用極紫外光刻 AMD等不及
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加入日期: Jul 2001
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作者cmwang
γ射線波長很短拿來當光源是不錯,但因為輻射能量高且穿透力極強,mask要怎麼搞才夠力啊 ....



直接打穿Mask然後全部打到Wafer上！

而且γ是不可見光,還得開發專用的設備去對焦！
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舊 2010-07-16, 06:25 AM #4
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