消息來源
在半導體產業盛會Semicon West 2010上,GlobalFoundries公佈了該公司推動極紫外(EUV)光刻技術投入量產的一些規劃細節。按照這份計劃書,GF將在2014-2015年左右將極紫外光刻技術推向商用,屆時半導體製造工藝也會進化到22nm和20nm。不幸的是,AMD並不會歡迎這種消息。
GF技術研發高級副總裁Gregg Bartlett在會上發表主題演講時稱:「我們的策略是跳過預產設備階段,直接購買量產級別設備,並安裝在位於紐約州的在建高級新工廠Fab 8。我們計劃於2012年下半年安裝這種(極紫外光刻)設備,然後立即開始研發工作,確保2014-2015年間開始批量生產。我們在研發上採取了合作策略,因此能夠做出這樣的行動,進而加速為整個產業批量生產(極紫外光刻芯片)。」——顯然,這裡所謂的合作來自IBM領導的晶圓廠俱樂部。
他解釋說:「我們可以把從沉浸式(光刻)中得到的經驗應用於極紫外光刻。從我們的角度說,沉浸式光刻能夠到達22/20nm工藝節點,但是會帶來嚴峻的成本挑戰,並增加複雜性。我們需要另外一種方案,而我們看來極紫外光刻是最有希望的。」
「我們是EUV LLC(極紫外光刻有限責任公司)的初創成員之一,而且我們的研究人員也參與了極紫外光刻的幾個重要里程碑,包括首款全場極紫外測試晶片的生產。我們承諾將會繼續維持這種領先地位,推動整個產業走向極紫外光刻的量產。」
GF Fab 8工廠計劃於2012年投入運營,初期生產28nm工藝晶片,然後轉向22nm,但是時間上恐怕至少要等到2014年了。相比之下,Intel打算在2011年下半年就進軍22nm,量產最晚時間也不過2012年上半年。
不過Intel雖然也一直在深入研究極紫外光刻技術,但是短期內並不打算真正使用它,這樣一來GF雖然進度上會落後很多,但是一旦成功就能在技術大大領先,只是對AMD等代工客戶來說就麻煩大了——AMD平均每兩年就需要新的處理器和顯卡晶片製造工藝,最晚2013年的時候應該就要用到22/20nm,但現在看來2011-2014年間AMD只能依靠32/28nm來維持了。