謝謝以上各位網友的的意見
幾個問題我來回答一下
第一個是有關驗證的問題
以前做AOI(光學自動檢測)的時候也遇過類似的問題，
那時候是做了一個標準片拿去中央標準局量測(???應該是這間，忘了，有出報告書)，
然後再拿這個標準片來當比較基準，
那時候老闆說這樣是ok的
現在也照個這樣做，不知道是否可行
或是也可以開給有微奈米檢測技術的實驗室用SEM來驗證，不過這個驗證費會很貴

第二個是尺度的問題，做到10um是要給顯微鏡或是光學檢測機器用的，並不是提供給一般人眼辨識用

第三是材料的問題，現在的作業環境大多控制在25度C，採用的是康寧的EAGLE2000或是1737，依照1737的規格，在正負10度C的操作環境下會有正負0.376um的伸縮量，我想一般工廠應該不容易超過這個溫差範圍，10um比上0.376um的誤差不知道會不會太大就是
以前AOI設備的解析度大多控制在8um，誤差就......科科了，我想大概有1um吧

第四，50公分的尺度太大了，目前沒辦法出這麼大的光罩，另外曝光機也沒那麼大，
雖然可以用多次曝光的方式來疊，但是這種誤差一定會大，您是要做光學尺嗎?不然很少有人需要這麼長的刻度玻璃

第五，機器的老闆已經在做光罩代工了，可能版上已經有人跟他訂過光罩
現在出的是塑膠光罩，所以才到10um，如果出玻璃光罩的話我想到3um都OK
不過玻璃光罩成本高幾十倍，如果真要玩玻璃光罩的話，我個人是傾向用請業界代工用電子束直寫，
直接在玻璃上刻尺度，然後出貨，這樣可以到達可見光的觀察極限，不過一片可能要賣兩萬