台積電:40nm工藝難題解決 質量媲美65nm
消息來源
台積電營運部門高級副總裁劉德音(Mark Liu)終於帶來了好消息:
困擾已久的40nm工藝良率問題已經解決,質量上現在基本和早已成熟的65nm工藝處於同一水平。
劉德音稱,困擾台積電40nm工藝的主要難題是所謂的設備腔體接合(Chamber Matching),但現在都已成為歷史,不過他沒有透露具體的良率數值,應該還要看生產的是什麼晶片。
台積電19日舉行了一次慶祝儀式,標誌著位於新竹科技園區的Fab 12晶圓廠已經完成了第五階段(Phase 5)的新工廠建設工作,並
將於今年第三季如期開始28nm工藝的量產。如果AMD下一代顯卡真的如傳聞所說採用28nm工藝並在第三季發佈,則台積電的進度正好與之相匹配。
劉德音表示,台積電也已經開始了Fab 12第六階段(Phase 6)的建設規劃,將主要用於未來的22nm工藝生產基地。