作者Angel13

那是你對EUV神化了
東西能量產 價格合理才有用

http://www.eettaiwan.com/ART_880057...NT_0b2f253d.HTM

設備產業有太多理由需要合作，其中一個就是微影技術的發展。目前193奈米浸潤式微影，被視為可支援32/28奈米製程節點；但到了22奈米節點，微影技術選項除了193奈米浸潤式技術，還有雙圖案(double-patterning)、無光罩(maskless)與奈米壓印(nanoimprint)。