瀏覽單個文章
okana
Power Member
 

加入日期: Nov 2005
文章: 604
引用:
作者Angel13
IBM都先行宣佈停止EUV轉向雙重浸潤式微影技術
這確實是很大的改變(GF好像是先說他們不跟IBM搞EUV 良率跟量產太爛了)
現在TSMC還是浸潤式微影技術的先行者 要到2012才能到專利結束 更何況是雙浸

三星電子於月初還是更早也宣佈 40nm包含以下用(雙)浸潤式微影技術製做DRAM

這很明顯了 EUV被棄守中(除非能有重大突破)
IBM的技術權利金太大太可怕了
AMD賣一顆CPU 獲利要被吃掉45%-55%


泛IBM聯盟啥時說不用EUV?
浸潤式微影已經快走到極限(雙重曝光只能改善一點繞射現象)
想要往下微縮
EUV是目前唯一有大量生產能力的次世代微影技術
 
舊 2009-10-29, 02:45 AM #12
回應時引用此文章
okana離線中