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引用:
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作者Angel13
IBM都先行宣佈停止EUV轉向雙重浸潤式微影技術
這確實是很大的改變(GF好像是先說他們不跟IBM搞EUV 良率跟量產太爛了)
現在TSMC還是浸潤式微影技術的先行者 要到2012才能到專利結束 更何況是雙浸
三星電子於月初還是更早也宣佈 40nm包含以下用(雙)浸潤式微影技術製做DRAM
這很明顯了 EUV被棄守中(除非能有重大突破)
IBM的技術權利金太大太可怕了
AMD賣一顆CPU 獲利要被吃掉45%-55%
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泛IBM聯盟啥時說不用EUV?
浸潤式微影已經快走到極限(雙重曝光只能改善一點繞射現象)
想要往下微縮
EUV是目前唯一有大量生產能力的次世代微影技術
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