你指的是LASER MASK MAKER嗎
若是..以前工作有用過一台

廠商+型號 Heidelberg Instrument/ DWL 66
1.Resolution : 40nm, 100nm, 200nm, 400nm
2.Minimum feature : 0.5 μm
3.Laser sources : 244nm, 363nm, 413nm, 442nm
4.Substrates : glass, silicon or any other flat materials
5.Exposure : photoresist

大約的資料而已

有需要您可能要上原廠查