引用:
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作者mgsuper
以high-k材料來取代原本的二氧化矽層,雖然可降低閘極的漏電流,但高介電材料不是會使接面電容上升,電晶體的工作速度下降。這也是研發人員很頭大的一個問題(漏電減小,但電晶體性能下降。還是要速度快,但有較大的漏電流,功率消耗。真是很難取捨的問題)。
不知intel用了此技術後,對於時脈的提升是不是也會造成困擾。
不過由圖中看出,intel好像只是加厚二氧化矽的厚度到3nm(雖然圖中沒寫是二氧化矽),真得有用到high-k材料嗎。
不過接面電容值也上升為原來的1.6倍了。
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從0.13um以下,gate delay的影響已經小於wire delay。