簡單的講, 當製程尺度縮小時, 邏輯閘的電場效應導致消耗更多的電能. 於是就產生更多的熱了.
就好像兩根磁鐵, 你如果要讓這兩根磁鐵同一極相互靠近的話, 就要用更大的力氣一樣.

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斥力大 (兩者距離接近)
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斥力小 (兩者距離遠時)

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上圖縮小距離時, 需要花更多的力氣才可以讓兩根磁鐵更靠近.
而半導體的結構, 也是跟這個情況相似的.
當然在半導體內, 不止"電場"的效應會增加發熱而已,只是舉一個比較簡單的例子說明而已.