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-   -   [請益]一個半導體靜電吸附的問題? (https://www.pcdvd.com.tw/showthread.php?t=927554)

aniceperson 2011-04-23 04:49 PM
[請益]一個半導體靜電吸附的問題?
 
就吸附種類區分有:1.機械吸附 2.真空吸附 3.靜電吸附
靜電吸附的效果最好, 最不會有particle issue產生

機台是AMAT DPS
想請問的是:
wafer不是很怕靜電嗎? 為何還能使用靜電吸附? 若改成真空吸附的話,可行嗎?

Kaworu_ht 2011-04-23 09:12 PM
引用:
作者aniceperson
就吸附種類區分有:1.機械吸附 2.真空吸附 3.靜電吸附
靜電吸附的效果最好, 最不會有particle issue產生

機台是AMAT DPS
想請問的是:
wafer不是很怕靜電嗎? 為何還能使用靜電吸附? 若改成真空吸附的話,可行嗎?


chamber 裡面在運作的時候是低真空的, 假如背面是用真空吸附的話
兩面的壓力差會很小 吸附的效果就會變差.

另外 wafer怕靜電是怕電荷累積之後會有靜電放電 (discharge)
e-chuck上面用的方法 不太會造成大量的電荷累積


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