光罩用玻璃底繪圖機
 

不知那位大大／前輩可以告知，現在市面上用的雷射繪圖機，運用在film/glass或者glass有哪一些呀,小弟上網找尋,這方面的資訊真的少的可憐,希望有從事相關工作的先輩可以在此留言告知小弟,謝謝.

你指的是LASER MASK MAKER嗎
若是..以前工作有用過一台

廠商+型號 Heidelberg Instrument/ DWL 66
1.Resolution : 40nm, 100nm, 200nm, 400nm
2.Minimum feature : 0.5 μm
3.Laser sources : 244nm, 363nm, 413nm, 442nm
4.Substrates : glass, silicon or any other flat materials
5.Exposure : photoresist

大約的資料而已

有需要您可能要上原廠查

感謝前輩的資料，可是這一台是研究用的吧，速度應該不快，而且超出預算了．

可是這家真是強呀，交大也用這家的．