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2024-11-16 Canon 最新技術的 NIL 奈米壓印微影是什麼？EUV 曝光機是否將被全面取代？
NIL 技術是什麼？和傳統光學微影技術有什麼差別  -------- 這nil 有沒有搞頭呢? |
EUV光源是比較好解決的,就是個物理光源問題.
比較大的問題應該是鏡片, 但是這個問題在哈蘇被大疆入主後, 就不是問題了. 其他的都是物理化學與材料問題. |
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